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LineBeamシステムは、高い生産力で大きな下地パネルのLTPSバックプ바카라 온라인ンを大量製造するための実現光学技術。
最大Gen 10.5のパネルサイズに対応した最大1500 mm長のラインビームプロファイルを提供します。 短長軸ビームの強度が均一で、スループットとビーム利用を最大化します。 優れたパルス安定性と高い被写界深度が、大きなプロセスウィンドウを実現します。
必須
바카라 온라인はビームがシルクハット形分布なので、すべて308 nmの短波長ながら、短長軸の両方で優れた均一性を実現します。
製品仕様
パラメータ
数値
ライン長（mm）
750
1000
1300
1500
ビームプロファイルの種類
両軸に沿ってシルクハット形分布
焦点深度（µm）
±150
±120
長軸ビームの強度均一性（%）
0.6（2σ）
短軸ビームの強度均一性（%）
0.8（2σ）
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