온라인 슬롯

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Coherentのディスク再生およびコーティングサービスにより、온라인 슬롯ツールの寿命を延ばし、所有コストを削減して、性能を向上させることができます。

Coherentは、あらゆるイオンインプラントディスクやヒートシンクの修理、改修、再製造に対応できる幅広い能力を備えています。これには、1970年代後半から現在までに製造されたバッチ処理式온라인 슬롯すべてのメーカーとモデルが含まれます。

主な機能

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It All Adds Up

Our industry-leading innovations enable a 2x lifetime improvement, a 99% decrease in wafer chipping, a 50% decrease in metals 온라인 슬롯ntamination, an 80% decrease in fence “wear-grooving” particle generation, and a 30% average 온라인 슬롯st-of-ownership savings.

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High-Performance 온라인 슬롯atings

The 온라인 슬롯 low-temperature elastomer pedestal and heat sink coating increases wafer cooling, boosts productivity, and improves pad-to-pad wafer temperature uniformity.

Torlon Fence Assemblies

Utilize high wear resistance Torlon to dramatically improve fence and disk lifetime, substantially decrease wafer chipping, cut fence wear-grooving, and lower metals 온라인 슬롯ntamination.

改良されたフェンス設計

온라인 슬롯の高精度スクリューインベアリングフェンス設計は、長寿命で非対称フェンス摩耗がなく、OEM圧着ポジション部品で発生するパーティクルトラップを排除します。