온라인바카라온라인바카라- 概要
システムは、卓越した精度を誇る花崗岩モーションモジュール上に構築され、大型フィールドサイズを使用して高スループットを得るために、高エネルギーの248 nm UV온라인바카라を採用しています。
製品仕様
主な特長 |
メリット |
3つの要素を兼ね備えた多機能性 |
1回の投資で3つのプロセスを調査、最適化、検証。 |
大型フィールドサイズ – 最大16 x 2 mm2 |
高スループット。 |
すべてのダイのサイズ（50 ～ 5 µm）をサポート |
未来につながる技術。 |
実績のあるエキシマ온라인바카라ソース |
技術的なリスクを排除。 |
Deep 온라인바카라 |
ほとんどすべての材料に対応。 |
ユーザーフレンドリーなソフトウェア自動化 |
セットアップと最適化が容易。大規模なト온라인바카라ニングは不要。 |
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