CVD 슬롯 머신 규칙の特性
Coherentは、最大直径145 mm、厚さ2 mmのサイズのCVD 슬롯 머신 규칙材料を供給しており、2200 W/m-Kを超える熱伝導率を達成できます。
プラズマ化学蒸着슬롯 머신 규칙の材料特性 |
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物理的特性 |
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構造 |
立方晶、多結晶 |
粒度 |
厚さと加工方法に依存 (0.05~1 mm) |
グ슬롯 머신 규칙ド |
슬롯 머신 규칙、熱、マイクロ波、検出器、機械、カスタム |
厚さ* |
最大2 mm |
슬롯 머신 규칙能力 |
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寸法許容差 |
±50 μm |
研磨アスペクト比 |
直径145 mmまでの場合は最大50:1 |
出力 |
< 0.5フリンジ/cm |
不規則度 |
< 0.5フリンジ/cm |
透過波面 |
< 0.5フリンジ/cm |
表面粗さ |
<15 nm |
슬롯 머신 규칙的特性 |
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体積吸収@ 10.6 μm |
< 0.07 cm-1 |
体積吸収@ 1 μm |
< 1 cm-1 |
散乱 @ 1 μm |
< 0.7 cm-1 |
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