슬롯 사이트

슬롯 사이트 SX

안정적이고 높은 에너지 펄스를 통한 뛰어난 빔 안정성으로 대면적 UV 처리를 지원하며 생산 현장에 사용할 수 있는 산업용 UV 엑시머 슬롯 사이트를 찾아보십시오.

미세 가공, 고급 반도체 패키징, 기능성 필름 생성(펄스 슬롯 사이트 증착(PLD), 슬롯 사이트 리프트오프(LLO), UV LIDAR, 엑시머 슬롯 사이트 어닐링(ELA) 등을 통한)을 포함하여 정밀도와 처리량을 극대화합니다.

슬롯 사이트 SX 주요 성능 지표

고출력, 높은 펄스 에너지 및 프로세스 가능 펄스 반복률의 고유한 조합을 활용합니다.

 

제품 사양

모델명 파장(nm) 최대 펄스 주파수(Hz) 최대 펄스 에너지(mJ) 최대 출력(W)
슬롯 사이트 SX C600 308 600 1000 600
슬롯 사이트 SX E500 500 500