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半绝缘碳化硅材料特性
物理特性
结构
六方单晶
直径
高达 200 mm
等级
初始、开发、机械
热特性
导热率
室温下 370 (W/mK)
热膨胀系数
4.5 x 10-6/K
比热 (25°C)
0.71 (J/g°C)
Coherent 카지노 해외 衬底的其他关键特性(典型值)
参数
半绝缘
多型体
6H
掺杂剂
钒
电阻率
1019 Ohm-cm
方向
同轴
粗糙度 (Ra)
<5Å
位错密度
< 10,000 cm-2
微管密度
< 10cm-2
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