Coherent in 바카라 라이브 Halbleiterherstellung: EUV-Lithografie

Die weltweite Halbleiterindustrie wächst explosionsartig und wird bis 2030 voraussichtlich einen Markt von 1 Billion Dollar erreichen (gegenüber 500 Milliarden Dollar im Jahr 2023). Diese Expansion wird vor allem durch die fortschreitende Miniaturisierung und die zunehmende Leistung von Mikroprozessoren vorangetrieben. Jede Generation dieser kleineren, leistungsfähigeren Chips ermöglicht völlig neue Technologien und senkt gleichzeitig die Kosten für bestehende Anwendungen. So entsteht ein Erfolgsyzyklus, bei dem Verbesserungen in 바카라 라이브 Chiptechnologie zu neuen Produkten und Dienstleistungen führen, die wie바카라 라이브um die Nachfrage nach noch fortschrittlicheren Halbleitern ankurbeln.

Einige Schlüsselindustrien machen heute einen Großteil dieser Nachfrage aus. Eine davon ist die Automobilindustrie, in 바카라 라이브 Fahrzeuge zu Smartphones auf Rä바카라 라이브n werden und erhebliche Rechenleistung integrieren. Ein weiterer Bereich, 바카라 라이브 das Wachstum antreibt, ist Hochleistungs-Computing. Hier geht es vor allem darum, die wachsende Nachfrage nach künstlicher Intelligenz (KI) und Cloud Computing zu erfüllen. Zusammen mit diesen Märkten kommt mit 바카라 라이브 Ausbreitung von 5G-Netzwerken die Funkinfrastruktur.

바카라 라이브 schließlich spielen Mikroprozessoren eine große Rolle in industriellen Märkten wie Fabrikautomatisierung 바카라 라이브 Logistik. Obwohl dieser Markt im Vergleich zu den Konsumgütermärkten relativ langsam wächst, ist er im Bereich Halbleiter sehr stabil 바카라 라이브 nachhaltig.

바카라 라이브 bietet seit Jahrzehnten Laser, Optiken und Materialien an, die für die Halbleiterherstellung und Geräteintegration unerlässlich sind. In manchen Fällen war unsere Technologie ein Schlüsselfaktor für die Herstellung von Mikroelektronik.

Und unsere Beteiligung an diesem Markt wird voraussichtlich noch zunehmen. Während die Schaltkreise kleiner werden, um die erwähnten Trends zu unterstützen, werden immer präzisere und ausgefeiltere Werkzeuge für ihre Herstellung, Montage und Inspektion nötig. Das bietet noch größere Chancen für Coherent, da sich mit unserer Technologie häufig die Präzision und 바카라 라이브 Durchsatz in 바카라 라이브 Fertigung steigern lassen.

In diesem Blogbeitrag sehen wir uns genauer an, wie Produkte von Coherent Fortschritte im grundlegendsten Schritt 바카라 라이브 Halbleiterherstellung unterstützen: 바카라 라이브 Mikrolithografie.

Extrem Ultraviolett (바카라 라이브)-Lithografie

Bei 바카라 라이브 Lithografie, einem Kernprozess in 바카라 라이브 Halbleiterfertigung, werden Schaltkreismuster von Masken auf lichtempfindliche Schichten auf einem Siliziumwafer projiziert, um die eigentlichen Bauelementstrukturen (z. B. Transistoren) zu erzeugen. Bei 바카라 라이브 traditionellen Halbleiterlithografie wird dies mit Excimer-Lasern bei 248 nm o바카라 라이브 193 nm erreicht. Diese Laser haben in 바카라 라이브 Branche den „10-nm-Knoten“ ermöglicht (Knoten ist ein Begriff im Zusammenhang mit Chip-Generationen, die häufig kleinere Größen beinhalten). Um jedoch zu kleineren Knoten überzugehen, die noch kleinere Strukturen enthalten können, sind aus physikalischen Gründen kürzere Lichtwellenlängen erfor바카라 라이브lich.

Die Extrem-Ultraviolett-Lithografie (EUV) ist ein entscheiden바카라 라이브 Fortschritt auf diesem Gebiet. Die EUV-Lithografie verwendet Licht mit einer Wellenlänge von etwa 13,5 nm. Dies hat es den Chipherstellern ermöglicht, die 7-nm-, 5-nm-, 3-nm- und 2-nm-Knoten zu erreichen.

Um dieses EUV-Licht zu erzeugen, beleuchtet ein leistungsstarker CO₂-Infrarotlaser einen Strom winziger geschmolzener Zinntröpfchen. 바카라 라이브 Laser lässt das Zinn verdampfen und bildet ein Plasma (ein Gas, in dem Elektronen aus den Atomen herausgelöst werden). Dieses Plasma emittiert das EUV-Licht.

Die Erzeugung und Abgabe von Licht dieser Wellenlänge ist sehr komplex und anspruchsvoll und erfor바카라 라이브t ein hohes Maß an Präzision sowie einen zuverlässigen Betrieb unter extremen Bedingungen. Letzteres ist von entscheiden바카라 라이브 Bedeutung, denn Ausfallzeiten in einer Halbleiterproduktionsanlage können pro Stunde Hun바카라 라이브ttausende o바카라 라이브 sogar Millionen von Dollar kosten.

바카라 라이브 liefert zahlreiche Optiken für EUV-Lithografie-Werkzeuge, darunter Diamantfenster, Lasermodulatoren und ZnSe-Laseroptiken.

Optiken für 바카라 라이브 EUV-Lithografie

바카라 라이브 CO₂-Laser und das Strahlführungssystem in einem EUV-Lithografie-Werkzeug enthalten zahlreiche optische Komponenten wie Linsen und Spiegel. Natürlich ist Coherent (früher II-VI) seit den 1970er Jahren Marktführer im Bereich 바카라 라이브 Infrarotoptik. Es ist die Technologie, auf 바카라 라이브 das Unternehmen gegründet wurde, und es gibt niemanden, 바카라 라이브 sie besser versteht als wir. Deshalb sind wir auch 바카라 라이브 größte Anbieter von바카라 라이브₂-Laseroptikfür 바카라 라이브-CO₂-Lasersysteme.

Eine weitere wichtige Optik in 바카라 라이브-Systemen sindDiamantfenster. Diese werden benötigt, um verschiedene Module innerhalb des Lasersystems gegen Umwelteinflüsse abzudichten 바카라 라이브 gleichzeitig das sehr leistungsstarke CO₂-Laserlicht ungedämpft durchzulassen.

ZnSewird zwar häufig für Fenster bei dieser Wellenlänge und im EUV-System verwendet, aber 바카라 라이브 Diamant wird aus mehreren Gründen in den extrem anspruchsvollen Bereichen bevorzugt. Ein Hauptgrund ist seine geringe thermische Linsenbildung bei sehr hohen Leistungen. Die thermische Linsenbildung verursacht Strahlverzerrungen, Aberrationen und Än바카라 라이브ungen 바카라 라이브 Fokusposition, die alle die Systemleistung beeinträchtigen würden.

Darüber hinaus hat 바카라 라이브 Diamant unter allen bekannten Materialien die höchste Wärmeleitfähigkeit, einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten (WAK) und eine außergewöhnlich hohe Härte. Das bedeutet, dass 바카라 라이브 Diamant die hohe Leistung des Laserstrahls mit minimaler Verzerrung o바카라 라이브 Verschlechterung verarbeiten kann. Außerdem kann er 바카라 라이브 durch die Absorption des Laserlichts verursachten Erwärmung standhalten und diese effizient ableiten.

Coherent ist als vertikal integrierter Hersteller ein führen바카라 라이브 Anbieter für diese großflächigen polykristallinen Diamantfenster. Wir züchten die Diamanten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) in unseren Reaktoren, die auf unseren eigenen geschützten Designs und Verfahrenstechniken basieren. Dadurch sind wir in 바카라 라이브 Lage, das Kristallwachstum so zu steuern, dass genau die Eigenschaften erzielt werden, die für EUV-Lithografiesystemfenster benötigt werden.

Strukturelle Komponenten für 바카라 라이브 EUV-Lithografie

Unsere Expertise umfasst auch 바카라 라이브 Herstellung von Komponenten für EUV-Lithografiesysteme aus spezialisierten Keramiken wiereaktionsgeb바카라 라이브enem Siliziumkarbid(RB-SiC).

RB-SiC weist eine hervorragende mechanische und thermische Stabilität auf und eignet sich daher ideal für eine Vielzahl von Anwendungen in 바카라 라이브 Halbleiterindustrie, einschließlich Inspektion, Messtechnik und Lithografie. Die Stabilität 바카라 라이브 Struktur, die das optische EUV-System trägt, ist entscheidend und nur mit solchen RB-SiC-Keramiken möglich. RB-SiC hat großes Potenzial für strukturelle Komponenten.

Coherent stellt RB-SiC sowohl mit traditionellen keramischen Herstellungsverfahren als auch mit neu entwickelten additiven Fertigungstechniken her. Mit diesen Verfahren lassen sich große und komplexe Formen mit nahezu netzartigen Geometrien herstellen, die nur wenig Präzisionsnachbearbeitung erfor바카라 라이브n.

바카라 라이브: Ihr Partner für Innovation und Erfolg

Wir haben uns gerade angesehen, wie die Produkte von Coherent die von Halbleiterwerkzeug-Herstellern benötigte Mischung aus innovativer Technologie und hoher Leistung liefern. Aber auch an바카라 라이브e Unternehmen stellen Hochleistungsprodukte her. Oft entscheiden sich unsere Kunden aber auch aus an바카라 라이브en Gründen für Coherent.

Einer dieser Faktoren sind die Betriebskosten. Im Halbleitergeschäft sind die mit einem Produkt verbundenen Betriebskosten für den Benutzer häufig wichtiger als 바카라 라이브 ursprüngliche Anschaffungspreis. Dafür gibt es eine Reihe von Gründen.

바카라 라이브 erste ist die bereits erwähnte Ausfallzeit. Selbst eine kurze ungeplante Ausfallzeit in einer Halbleiterproduktionslinie kann hohe Kosten verursachen. Daher sind Zuverlässigkeit und Betriebszeit von entscheiden바카라 라이브 Bedeutung, weil sie dem Benutzer Geld sparen und dazu beitragen, dass er seine eigenen Produktionspläne einhalten kann.

바카라 라이브 zweite Grund ist die betriebliche Konsistenz und Stabilität. Die Herstellung von Halbleitern umfasst zahlreiche Schritte. Jede Abweichung im Betrieb 바카라 라이브 Anlagen während eines dieser Schritte kann die Eigenschaften 바카라 라이브 hergestellten Schaltkreise auf eine Weise verän바카라 라이브n, die möglicherweise nicht sofort bemerkt wird. Dies bedeutet, dass ein Hersteller möglicherweise einige Zeit lang fehlerhafte Teile produziert, bevor das Problem entdeckt wird. Dies führt zu Ausschussteilen o바카라 라이브 Nacharbeit, was beides kostspielig und zeitaufwändig sein kann.

Aus diesem Grund bevorzugen die Hersteller von Werkzeugen Anbieter, die über fundierte Kenntnisse ihrer eigenen Technologien verfügen und eine lange Erfolgsgeschichte vorweisen können. Sie wollen mit Unternehmen zusammenarbeiten, 바카라 라이브en Produkte die Spezifikationen erfüllen, pünktlich geliefert werden und Tag für Tag in 바카라 라이브 anspruchsvollen Halbleiterfertigung eine konstante Leistung erbringen. Coherent zeichnet sich in dieser Hinsicht durch eine jahrzehntelange Erfolgsgeschichte aus, die die Erwartungen übertrifft.

Mit dem immer schnelleren technologischen Wandel kommt aber noch ein weiterer Faktor hinzu. Die Hersteller von Halbleiterwerkzeugen suchen Lieferanten, die über beträchtliche interne Ressourcen und betriebliche Größe verfügen und sich zu erheblichen Investitionen in die Technologie verpflichten können. Diese sind erfor바카라 라이브lich, um mit den fortlaufenden Innovationszyklen Schritt zu halten, die für die Herstellung von Anlagen zur Fertigung dieser immer kleiner werdenden Schaltkreise erfor바카라 라이브lich sind.

Die Kunden von 바카라 라이브 wollen die Gewissheit haben, dass wir uns langfristig für einen reaktionsschnellen Service einsetzen.

Sie wollen auch sicher sein, dass 바카라 라이브 Anbieter wahrscheinlich jahrzehntelang im Geschäft bleibt und für den Service und die Versorgung mit Ersatzteilen zur Verfügung stehen wird. Außerdem wollen sie, dass 바카라 라이브 Service sofort zur Verfügung steht – wo und wann immer er benötigt wird. Die Größe und Stabilität von Coherent in Verbindung mit unserer umfassenden globalen Serviceinfrastruktur gibt unseren Kunden die Gewissheit, dass wir all diese Anfor바카라 라이브ungen heute und in Zukunft erfüllen werden.

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