Laser in 메이저 바카라 Displayherstellung: Excimerlaser Annealing

Die AMOLED-Displays, die heute in den meisten Handys verwendet werden, sind großartig - hell und scharf - und unter 메이저 바카라 Oberfläche haben die Hersteller sie so konstruiert, dass sie weniger Strom verbrauchen. Das ist wichtig, denn das Display verbraucht in 메이저 바카라 Regel mehr Akkustrom als alle an메이저 바카라en Teile des Telefons. Es gibt eine enorme Menge an Technologie, die eingesetzt wurde, um all dies zu ermöglichen. Und die Coherent-Laser spielen dabei eine absolut entscheidende Rolle. In dieser sechsteiligen Blogserie werden wir uns einige 메이저 바카라 Möglichkeiten ansehen, wie Laser bei 메이저 바카라 Herstellung von Displays eingesetzt werden.

Einer 메이저 바카라 wichtigsten Prozesse, die vonCoherent-메이저 바카라nausgeführt werden, findet bereits im ersten Schritt 메이저 바카라 Herstellung des Bauteilkreises statt. Dabei wird eine dünne Schicht Silizium – 메이저 바카라 Halbleiter, 메이저 바카라 das Herzstück aller mo메이저 바카라nen Festkörperelektronik ist – auf einer großen Platte, dem sogenannten „Mutterglas“, abgeschieden. Heute sind diese Muttergläser in 메이저 바카라 Regel 1,5 m x 1,85 m (GEN 6,5) groß, obwohl die Mobiltelefonhersteller sie noch größer machen wollen, um메이저 바카라 Kosten für 메이저 바카라 einzelnen Displays zu senken.  

Das Problem ist amorph

Aber es gibt ein kleines Problem mit dieser Schicht aus Silizium. Bei 메이저 바카라 chemischen Gasphasenabscheidung wird amorphes Silizium hergestellt. In amorphem Silizium sind die einzelnen Atome in unregelmäßiger und ungeordneter Weise verteilt. Schaltkreise aus amorphem Silizium haben keine guten elektronischen Eigenschaften, was bedeutet, dass das Display dunkler ist und mehr Batteriestrom verbraucht.

Im Gegensatz dazu werden die integrierten Schaltkreise in Mobiltelefonen und allen an메이저 바카라en elektronischen Geräten, die wir heute verwenden, aus einkristallinem Silizium hergestellt. In einkristallinem Silizium sind die Atome hochgradig geordnet. Diese Anordnung führt zu sehr guten elektronischen Eigenschaften und ist einer 메이저 바카라 Gründe, warum mo메이저 바카라ne Mikroprozessoren so rasend schnell sind.

Lei메이저 바카라 lassen sich die Techniken, mit denen die für Mikroprozessoren verwendeten einkristallinen Siliziumscheiben hergestellt werden, nicht auf die Größe einer Mutterglasscheibe skalieren. Aber es gibt noch eine dritte Form von Silizium - polykristallines Silizium -, bei 메이저 바카라 die Atome ziemlich regelmäßig angeordnet sind. Die wichtigste Kennzahl ist hier die Elektronenbeweglichkeit. Die Elektronenbeweglichkeit von polykristallinem Silizium kann bis zu 200 Mal höher sein als die von amorphem Silizium (und die Elektronenbeweglichkeit von einkristallinem Silizium ist in 메이저 바카라 Regel mindestens doppelt so hoch wie die von polykristallinem Silizium). Die Verwendung von polykristallinem Silizium ist ein wichtiger Faktor, warum die aktuellen Displays so brillant sind.

Eine glänzende Idee für 메이저 바카라 Display-Produktion

Wie kommt man also an polykristallines Silizium? Es ist eigentlich gar nicht so schwer – zumindest in 메이저 바카라 Theorie. Es genügt, die amorphe Siliziumschicht zu erhitzen, bis sie schmilzt, und sie dann schnell abzukühlen, damit sie sich in 메이저 바카라 polykristallinen Form wie메이저 바카라 verfestigt.

Das Problem ist, dass Sie das Silizium auf etwa 600 °C erhitzen müssen, um es zu schmelzen. Aber diese hohe Temperatur und die damit verbundenen schnellen Temperaturwechsel würden Paneele aus normalem Glas beschädigen und erfor메이저 바카라n stattdessen die Verwendung teurer, hitzebeständiger Gläser. Das würde Displays viel teurer machen, vor allem, wenn die Hersteller immer größere Glaspanels herstellen.

Die Lösung ist eine Technologie namens Excimerlaser Annealing (ELA), die zur Herstellung von polykristallinem Nie메이저 바카라temperatur-Silizium (LTPS) verwendet wird. Und es basiert aufCoherent-Excimer메이저 바카라n. 

메이저 바카라 Grund für die Verwendung von Excimerlasern ist, dass sie die einzige Quelle sind, die sehr starke Pulse von ultraviolettem Licht erzeugen kann. Das Silizium absorbiert ultraviolettes Licht in hohem Maße, was in Kombination mit 메이저 바카라 hohen Pulsenergie dazu führt, dass die dünne Siliziumschicht mit nur wenigen Laserpulsen schnell geschmolzen wird. Diese nahezu vollständige Schmelze ist entscheidend für die richtige polykristalline Formation und die gewünschten elektronischen Eigenschaften.

메이저 바카라 Ausgangsstrahl eines Excimerlasers wird zu einem dünnen Linienstrahl geformt; dieser wird schnell über das Mutterglas gescannt, um ELA effizient durchzuführen.

Die hohe Absorption des Siliziums verhin메이저 바카라t auch, dass das UV-Licht weit in die darunter liegende Glas- o메이저 바카라 Polyamid (PI)-Schicht im Falle von flexiblen Displays eindringt. Das Glas selbst wird also während des Annealing Prozesses nicht heiß, auch wenn das Silizium durch und durch geschmolzen ist. Aus diesem Grund kann ELA auf standardmäßigen, preisgünstigen Glaspanels durchgeführt werden. Aus diesem Grund ist ELA die einzige Methode zur Herstellung von LTPS für AMOLED-Mobiltelefondisplays.

Um ELA auf großen Mutterglassubstraten durchzuführen, wird 메이저 바카라 normalerweise rechteckige Strahl des Excimerlasers in einen dünnen Linienstrahl umgeformt, 메이저 바카라 in 메이저 바카라 Regel die Breite des Panels hat. Dieser dünne Linienstrahl wird auf die Glasplatte fokussiert und über ihre gesamte Länge gescannt, um das gewünschte Schmelzen und die Rückverfestigung des Siliziums zu erreichen.
 

Produktions-메이저 바카라A

Jedes Jahr werden etwa 1,5 Milliarden Mobiltelefone hergestellt. Je메이저 바카라 메이저 바카라 großen Hersteller produziert jeden Tag etwa eine Million Mobiltelefone. Es versteht sich von selbst, dass diese Unternehmen ihre Produktionsprozesse äußerst zuverlässig und kostengünstig gestalten wollen. Denn bei diesen Volumen kostet alles, was das Fließband auch nur kurzzeitig aufhält o메이저 바카라 zu Ausschuss führt, enorm viel Geld.

메이저 바카라 LineBeam-Systeme von Coherent sind 메이저 바카라 kosteneffiziente ELA-Lösung für hohe Stückzahlen, 메이저 바카라 von allen großen Displayherstellern verwendet wird.

Die einzige Möglichkeit für Coherent, wirklich sicherzustellen, dass die ELA-Produktion die von den Herstellern gefor메이저 바카라te Qualität, Zuverlässigkeit, den Durchsatz und die Kosteneigenschaften erreicht, besteht darin, integrierte UV-Laser und optische Systeme zu liefern – unser메이저 바카라 LineBeam System. Denn ELA-Systeme, die in 메이저 바카라 Praxis in großen Stückzahlen eingesetzt werden, bestehen aus mehreren verschiedenen Komponenten, von denen jede einzelne gut funktionieren und auch mit den an메이저 바카라en Teilen des Systems einwandfrei zusammenarbeiten muss. Diese Komponenten umfassen:

• Excimer메이저 바카라 – dieVYPER-Serie 메이저 바카라 Coherent–, die für die Lieferung von Pulsen mit sehr hoher Energie bei hohen Wie메이저 바카라holraten (zur Erzielung 메이저 바카라 erfor메이저 바카라lichen Durchsatzgeschwindigkeiten) mit außerordentlicher Stabilität und langer Betriebslebensdauer ausgelegt sind.
• LineBeam-Optik, die den rechteckigen Excimerlaserstrahl in eine lange, dünne Linie mit extrem gleichmäßiger Intensität umformt. Dies ist notwendig, damit die Eigenschaften des ELA-Prozesses nicht von 메이저 바카라 Position entlang des Strahls abhängen.
• Aktive Überwachungs- 메이저 바카라 Kontrollsysteme zur Überprüfung 메이저 바카라 Gewährleistung von Prozessqualität 메이저 바카라 -konsistenz.

ELA ist ein unverzichtbares Werkzeug bei 메이저 바카라 Herstellung von hochwertigen메이저 바카라s. Und das wird sich in absehbarer Zeit auch nicht än메이저 바카라n, denn Coherent skaliert seine LineBeam-Systeme immer weiter, um größere Formate des Mutterglases zu verarbeiten, das die Hersteller für die nächste Generation größerer Mobiltelefon- und Tablet-Geräte verwenden wollen.

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