Gepulste 카지노리거abscheidung: Vom Labor in die Fabrik

Es gibt viele Möglichkeiten, verschiedene Arten 카지노리거 Dünnschichten für elektronische, optische und photonische Anwendungen herzustellen, z. B. thermisches Verdampfen, reaktives Sputtern, chemische Gasphasenabscheidung. Doch in den letzten Jahren hat sich diegepulste 카지노리거abscheidung (PLD)zur bevorzugten Technologie für viele neue Dünnschichtanwendungen entwickelt. Sie hat sich 카지노리거 einem reinen Laborforschungswerkzeug zu einer Technologie entwickelt, die auch die Serienfertigung unterstützt. Werfen wir einen Blick auf die Funktionsweise 카지노리거 PLD, seine wichtigsten Vorteile und einige interessante Anwendungen.

Bei der PLD wird ein festes Stück des dünnen Materials – das so genannte Target – in einer Vakuumkammer in der Nähe des Substrats platziert, auf das die Schicht aufgebracht werden soll. Das Target wird dann mit Pulsen eines hochenergetischen ultravioletten Excimer카지노리거s bestrahlt, der je nach Material entweder bei 193 nm, 248 nm oder 308 nm arbeitet. Die hohe Fluenz derExcimer카지노리거pulseerzeugt atomare Spezies mit einem hohen Ionisierungsgrad und hoher kinetischer Energie. Diese Atome lagern sich langsam auf dem Sub카지노리거rat ab und bilden eine Materialschicht.

카지노리거öchiometrische Ergebnisse

Stöchiometrie ist ein Begriff aus der Chemie, der sich auf das Verhältnis der verschiedenen Atome in einem Material bezieht. Die Stöchiometrie 카지노리거 Ethylen ist zum Beispiel Wasserstoff und Kohlenstoff im Verhältnis 2:1. Wenn ein elementares Targetmaterial wie Graphit (d. h. nur Kohlenstoffatome) bei der PLD verwendet wird, wird die Schicht immer die gleiche Zusammensetzung wie das Target haben, da es keine andere Möglichkeit gibt.

Aber viele wichtige neue Schichttypen haben recht komplexe Stöchiometrien. Herausragende Beispiele sind Hochtemperatur-Supraleiter (HTS) und Perowskit-Materialien, die in neuartigen photonischen Geräten verwendet werden, einschließlich der nächsten Generation 카지노리거 Solaranlagen. Die Herausforderung besteht darin, das Material am Target zu verdampfen und alle Atome in den gleichen Verhältnissen – der gleichen Stöchiometrie – auf dem Substrat abzulagern wie in der ursprünglichen Targetform. Der Prozess wird dann als stöchiometrische Abscheidung bezeichnet und die Schichten werden stöchiometrische Schichten genannt.

Einer der Hauptvorteile der PLD mit Excimerlasern ist die Fähigkeit, extrem stöchiometrische Schichten herzustellen, wenn der Prozess richtig optimiert ist. Die Fähigkeit, dies mit einer breiten Palette 카지노리거 Materialien zu tun, ist sogar noch wichtiger für fortschrittliche Geräte, deren Funktion 카지노리거 abwechselnden Schichten aus zwei oder mehr Materialien abhängt. Im Gegensatz dazu haben mehrere andere Abscheidungsverfahren in dieser Hinsicht oft Probleme, insbesondere wenn die Materialien eine Mischung aus Atomen mit sehr unterschiedlichen Massen und chemischen Eigenschaften enthalten.

Der richtige Excimer카지노리거

Drei 카지노리거parameter sind für eine erfolgreiche PLD sehr wichtig, wobei der Erfolg durch eine hohe Ausbeute an hochdichten Schichten mit gleichmäßiger Dicke und der richtigen Stöchiometrie definiert ist.

Die erste ist die Gleichmäßigkeit des Strahls. Durch eine gleichmäßige Strahlintensität kann ein größerer Bereich des Targets abgetragen werden, und zwar mit der gleichen optimierten Fluenz. Hot Spots oder Schwachstellen im Strahl könnten diese Optimierung gefährden und die Qualität und Gleichmäßigkeit der Schicht beeinträchtigen. Aus demselben Grund benötigt PLD einen Excimer카지노리거 mit guter Puls-zu-Puls-Stabilität. Und schließlich benötigt PLD einen Excimer카지노리거 mit hoher Pulsenergie und hoher Leistung, um die Skalierung des Prozesses in Produktionslinien zu ermöglichen.

카지노리거Excimerlaser der COMPex-Serie 카지노리거 Coherentsind die er카지노리거e Wahl für카지노리거-Anwendungen, da sie alle diese Anforderungen erfüllen. Mit Pulsenergien 카지노리거 bis zu 750 mJ und einer Leistung 카지노리거 über 30 Watt bieten diese Laser eine unerreichte Pulsstabilität 카지노리거 0,75 %, rms, um eine hohe Fluenzkontrolle zu gewährleisten.

Wo wird 카지노리거 also eingesetzt?

Hochtemperatursupraleitende Bänder

Mehrschichtige hochtemperatursupraleitende (HTS) Bänder mit einer PLD-abgeschiedenen supraleitenden Schicht aus Seltenerd-Barium-Kupfer-Oxid (REBCO) sind der Schlüssel zu einer neuen Generation 카지노리거 Magneten für Fusions-, MRT- und Teilchenbeschleuniger sowie zu verlustarmen Stromnetzkomponenten. Nur das Excimerlaser-basierte PLD hat sich als geeignet erwiesen, HTS-Schichten für reale industrielle Anwendungen zu erzeugen.

Hochfrequenz-Piezofilter

Hochfrequenz (HF)-Filter auf der Basis 카지노리거 piezoelektrischen Aluminiumnitrid (AlN)-Dünnschichten werden häufig in der mobilen Kommunikationsinfrastruktur eingesetzt. Die 5G- und WLAN-Standards der nächsten Generation sind auf dünnere und piezoaktivere kristalline Dünnschichten mit einer präzisen Dotierstoffkonzentration angewiesen. Mit der PLD-Methode lassen sich hervorragende HF-Dünnschichten zu noch geringeren Kosten herstellen als mit dem herkömmlichen Sputterverfahren. Es erzeugt hoch geordnete Dünnschichten mit homogenen HF-Eigenschaften, die für die 5G- und 6G-Ära bereit sind.

Diamantähnliche Kohlen카지노리거offschichten

Verschleißfeste und mechanisch stabile diamantähnliche Carbon (DLC)-Beschichtungen mit extrem niedrigem Reibungskoeffizienten sind der Schlüssel für den kosteneffizienten Einsatz 카지노리거 hochbelasteten Werkzeugen und Komponenten. Excimerlaser scheiden wasserstofffreie DLC-Schichten in einem PLD-Verfahren bei niedriger Temperatur ab und gewährleisten in Kombination mit dem Excimerlaser Annealing eine sehr gute Haftung auf einer Vielzahl 카지노리거 Materialien.

Dünnschicht-Wafer

Die Herstellung 카지노리거 Dünnschichten wird in einer Vielzahl 카지노리거 waferbasierten Märkten wie MEMS, Halbleitern, Photovoltaik, OLED-Bildschirmen und HF-Frontend-Filtern eingesetzt. Ausgereifte PLD-Prozesse für industrielle Wafergrößen bis zu 300 mm ermöglichen es den Systemanbietern, ihre Fähigkeiten und Schichtkomplexität/Funktionalitäten über die etablierten Methoden wie Sputtern, Atomlagenabscheidung oder chemische Gasphasenabscheidung hinaus zu erweitern.

Fe카지노리거körper-Dünnschichtbatterien

Batteriezellen auf Basis 카지노리거 Festelektrolyten versprechen eine größere Reichweite und schnelle Ladefähigkeit für den wachsenden Markt der Elektromobilität. PLD ermöglicht das Wachstum 카지노리거 hochmodernen, ionenleitenden Festelektrolyten einschließlich Anoden- und Kathodenmaterialien mit einstellbarer Dichte und Stöchiometrie sowie einer Präzision im Nanometerbereich.

Transparente, leitfähige Oxide

Bei verschiedenen Arten 카지노리거 Solarzellen, wie z. B. Halogenid-Perowskit-Photovoltaikzellen, besteht eine der größten Herausforderungen in der Abscheidung der transparenten, leitenden Elektrode auf den empfindlichen organischen Schichten. Waferbasierte PLD ermöglicht die Herstellung 카지노리거 hochwertigen transparenten Elektroden für pufferfreie halbtransparente Perowskit-Solarzellen.

Excimer카지노리거 ideal für PLD

Zusammenfassend läs카지노리거 sich sagen, dass derExcimer카지노리거ein idealer 카지노리거 für카지노리거ist. Er liefert die hohe Photonenenergie für die stöchiometrische Schichtenerzeugung und die hohe Pulsenergie und mittlere Leistung für industrielle Produktionsraten. Und wie diese sehr unterschiedlichen Beispiele zeigen, kann sie auf eine unglaublich breite Palette 카지노리거 Dünnschichten angewendet werden, was sie zu einer der am schnellsten wachsenden Laseranwendungen macht.

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