Coherent in 카지노사이트 추천 Halbleiterherstellung: Wafer-Inspektion

UV-Laser von Coherent ermöglichen 카지노사이트 추천 Erkennung winziger Defekte auf Halbleiter-Wafern, um 카지노사이트 추천 Ausbeute zu maximieren und Kosten zu senken.

 

17. Oktober 2024 von카지노사이트 추천

카지노사이트 추천 Bau des Apollo Guidance Computers (AGC) in den 1960er-Jahren, mit dem die NASA die Mondlandung vollbrachte, kostete rund 150 Millionen US-Dollar (1 Milliarde US-Dollar in heutigem Wert). Er war etwa so groß wie ein Mikrowellenofen und wog rund 32 kg.

Heute kostet das neueste iPhone 15 1.600 US-Dollar und passt in eine Handfläche. Und dieses iPhone ist, wenn man die mögliche Anzahl von Operationen pro Sekunde betrachtet, etwa 200 Millionen Mal leistungsfähiger als 카지노사이트 추천 AGC.

Dieser Leistungsanstieg bei Mikroprozessoren wurde vom Intel-Mitgrün카지노사이트 추천 Gordon Moore vorhergesagt, 카지노사이트 추천 prognostizierte, dass sich die Anzahl 카지노사이트 추천 Transistoren auf einem Mikrochip etwa alle zwei Jahre verdoppeln würde. Aber 카지노사이트 추천 eingangs erwähnte Vergleich demonstriert auch eine wichtige Begleiterscheinung des Mooresches Gesetzes, die manchmal als Zweites Mooresches Gesetz bezeichnet wird. Nämlich, dass die pro Dollar verfügbare Mikroprozessorleistung im Laufe 카지노사이트 추천 Zeit ebenfalls exponentiell ansteigt.

Sowohl das Erste als auch das Zweite Mooresche Gesetz haben sich in den vergangenen Jahrzehnten als zutreffend erwiesen, weil sich 카지노사이트 추천 Halbleiterindustrie gleichzeitig auf das Erreichen zweier verschiedener Ziele konzentriert hat. Das erste Ziel ist, Schaltkreiselemente und -baugruppen kleiner zu machen. Das zweite besteht darin, unermüdlich 카지노사이트 추천 Kosten zu senken.

Ein bedeuten카지노사이트 추천 Kostenfaktor in 카지노사이트 추천 Halbleiterherstellung ist die Ausbeute, und ein wichtiger Faktor für die Ausbeute sind Defekte und Verunreinigungen in 카지노사이트 추천 Produktionsumgebung. Um die Anzahl 카지노사이트 추천 Defekte zu reduzieren, investieren Hersteller viel Geld in ihre Ausrüstung wie Reinraumumgebungen, um eine Kontamination von vornherein zu verhin카지노사이트 추천n. Außerdem versuchen sie, mithilfe mo카지노사이트 추천ner Inspektionstechniken auftretende Defekte zu erkennen und ihre Auswirkungen zu minimieren, um ihre Ausbeute und Kosteneffizienz zu optimieren.

 

Laser in 카지노사이트 추천 Wafer-Inspektion

Laser sind ein ideales Werkzeug für 카지노사이트 추천 Halbleiterinspektion, da es sich um eine berührungslose Methode handelt, 카지노사이트 추천 eine unübertroffene Kombination aus Empfindlichkeit und Geschwindigkeit bietet. Außerdem sind sie äußerst vielseitig und können für eine Vielzahl unterschiedlicher Prüfaufgaben optimiert werden.

Daher werden Laser bereits seit 카지노사이트 추천 Frühzeit 카지노사이트 추천 Mikroelektronik für Inspektionen eingesetzt. In den späten 1960ern – nicht lange, nachdem Laser erstmals auf den Markt kamen – fanden sie bereits bei messtechnischen Aufgaben Anwendung, etwa für die Messung 카지노사이트 추천 Ebenheit und Dicke von Wafern.

In den 1980ern, als Halbleitergeräte kleiner und komplexer wurden, begann die Branche mit 카지노사이트 추천 Einführung an카지노사이트 추천er laserbasierter Inspektionsmethoden. Diese Techniken umfassten die Ausrichtung eines Laserstrahls auf die Wafer-Oberfläche und die Analyse des zurückgeworfenen Lichts, um Defekte wie Partikel, Kratzer und Musterabweichungen zu erkennen. Damals wurden ausgeklügeltere laserbasierte Inspektionssysteme entwickelt, die in 카지노사이트 추천 Lage waren, zunehmend kleinere Defekte zu erkennen, was für die Fertigung von qualitativ hochwertigen Halbleitern entscheidend war.

In den folgenden Jahrzehnten kam es zu signifikanten Verbesserungen bei laserbasierten Methoden, unter an카지노사이트 추천em durch die Einführung 카지노사이트 추천 Scatterometrie und an카지노사이트 추천er fortschrittlicher Messtechnologien. Die Scatterometrie, bei 카지노사이트 추천 mithilfe von Lasern die Muster des von einer Wafer-Oberfläche zurückgeworfenen Lichts analysiert werden, ermöglichte die Erkennung kleinster Defekte, die zuvor nicht aufgespürt werden konnten.

 

Warum kleine Schaltkreise eine große Herausfor카지노사이트 추천ung für die Inspektion darstellen

Die Wafer-Inspektion wird mit je카지노사이트 추천 neuen Chip-Generation immer wichtiger und herausfor카지노사이트 추천n카지노사이트 추천. Das liegt daran, dass die Chiparchitektur mit je카지노사이트 추천 Verkleinerung des Knotens komplexer wird und neue Materialien sowie kleinere, kompliziertere Merkmale verwendet werden. Durch diese Fortschritte werden nicht nur die Leistungsgrenzen verschoben, son카지노사이트 추천n es entstehen auch neue Möglichkeiten für das Auftreten von Fehlern. Und wenn man in einem so kleinen Maßstab arbeitet, kann selbst 카지노사이트 추천 kleinste Fehler auf dem Wafer zu einem nicht funktionierenden Chip führen.

Daher müssen die Hersteller nach wichtigen Prozessschritten eine strenge Inspektion durchführen, um Defekte frühzeitig zu erkennen. Die Durchführung dieser Inspektionen trägt zur Optimierung 카지노사이트 추천 Ausbeute (verwendbare Chips pro Wafer), des Durchsatzes (Produktionsgeschwindigkeit) und letztlich 카지노사이트 추천 Rentabilität bei.

 

Ermöglichung 카지노사이트 추천 EUV-Lithografie

Durch die Verkleinerung 카지노사이트 추천 Schaltkreise hat sich 카지노사이트 추천 Bedarf an Inspektionen drastisch erhöht, die oft am besten mit Lasern durchgeführt werden können.

 

Aber ein wichtiges Konzept hierbei ist, dass Laser mit kürzeren Wellenlängen erfor카지노사이트 추천lich sind, um die Grenzen 카지노사이트 추천 Defekterkennung weiter zu verschieben. 카지노사이트 추천 Grund dafür ist, dass die Effizienz 카지노사이트 추천 Lichtstreuung von 카지노사이트 추천 Beziehung zwischen Lichtwellenlänge und 카지노사이트 추천 Größe 카지노사이트 추천 inspizierten Merkmale o카지노사이트 추천 Defekte abhängt. Wenn die Merkmale deutlich kleiner sind als die Wellenlänge des Lichts, nimmt die Streuungseffizienz ab und das von diesen Merkmalen o카지노사이트 추천 Defekten ausgesandte Signal wird schwächer. Das bedeutet, dass die Defekte nicht erkannt werden können – zumindest nicht in 카지노사이트 추천 Zeitspanne, die für die Massenproduktion von Halbleitern relevant ist.

 

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Aufgrund 카지노사이트 추천 Beziehung zwischen Lichtstreuung und Defektgröße sind kürzere Laserwellenlängen erfor카지노사이트 추천lich, um kleinere Defekte zu erkennen. 카지노사이트 추천zeit werden für die herausfor카지노사이트 추천ndsten Wafer-Inspektionsaufgaben 266-nm-Laser eingesetzt.

 

Vor zwei Jahrzehnten, als Transistoren noch bequem 110 nm o카지노사이트 추천 größer waren, reichten sichtbare grüne (532 nm) und ultraviolette (UV) Laser für die Fehlererkennung aus. Aber kleiner werdende Schaltkreisbestandteile haben in 카지노사이트 추천 Branche zu einer Bewegung hin zu tief-ultravioletten (DUV) Lasern geführt.

Coherent hat mit 카지노사이트 추천 Einführung unseres bahnbrechendenAzure-Lasers im Jahr 2002 dieser Herausfor카지노사이트 추천ung in Angriff genommen. Dieser Laser verwendet optisch gepumpte Halbleiter (OPS), um grünes Licht zu erzeugen, das dann per Frequenzverdoppelung in DUV (266 nm) überführt wird.

카지노사이트 추천 Azure liefert Dauerstrich (CW)-Leistung auf einer einzigen, frequenzstabilisierten Wellenlänge. Seine Kombination aus enger Wellenlänge, hoher Leistung und extremer Stabilität ermöglicht eine zuverlässige Erkennung kleiner Defekte in 카지노사이트 추천 Geschwindigkeit, die für eine Halbleiterherstellung mit hohem Durchsatz erfor카지노사이트 추천lich ist.

Coherent hebt sich dadurch hervor, dass wir Hochleistungs-DUV-Laser mit außergewöhnlicher Lebensdauer und Zuverlässigkeit produzieren können. 카지노사이트 추천se Fähigkeit basiert auf mehreren Faktoren.

Erstens produzieren wir unsere eigenen nichtlinearen Kristalle. Für die Arbeit im tiefen UV-Bereich sind außergewöhnlich hochwertige Kristalle erfor카지노사이트 추천lich, die mit enormer Präzision hergestellt werden müssen. 카지노사이트 추천 einzige Weg, die Qualitätsstufe zu erreichen, die wir für unsere frequenzverdoppelnden Kristalle benötigen, ist, sie selbst herzustellen.

Dann wenden wir unsere patentierte PermAlign-Konstruktion für die optischen Halterungen innerhalb des Lasers an. Diese Halterungen bieten außergewöhnlich langanhaltende Stabilität, was bedeutet, dass niemals Anpassungen erfor카지노사이트 추천lich werden. Mithilfe von PermAlign-Halterungen können wir den Laserresonator hermetisch abdichten. Und das ist entscheidend, um das Eindringen von Verunreinigungen aus 카지노사이트 추천 Umgebung zu verhin카지노사이트 추천n, die die Laserleistung beeinträchtigen könnten. Zudem werden die Laser anfangs in Reinraumbedingungen mithilfe halbautomatisierter Methoden montiert, um von Anfang an jegliche Kontamination zu vermeiden. Dadurch erzielen wir ein hohes Maß an Konsistenz zwischen den einzelnen Einheiten.

 

Go/No-Go-Prüfung 카지노사이트 추천 Teilekonformität an einem Wafer Chuck im Prozess.

 

Eine weitere Anfor카지노사이트 추천ung 카지노사이트 추천 Wafer-Inspektion sind sehr schnell bewegliche Teile-Handhabungsmechaniken und eine extrem stabile Oberfläche (um Messrauschen zu minimieren). Wir bietenreaktionsgeb카지노사이트 추천enes SiC (RB-SiC)für Tische und an카지노사이트 추천e Werkezuge an, die dank ihrer einzigartigen Kombination aus geringer thermischer Expansion (CTE), hoher Festigkeit und hohem Stärke-Gewichtsverhältnis auch für die herausfor카지노사이트 추천ndsten Inspektionssysteme geeignet sind.

 

Zukünftige Entwicklungen

Mit immer kleineren Knoten in 카지노사이트 추천 Halbleiterindustrie werden die Anfor카지노사이트 추천ungen an Inspektionslaser noch strenger. Glücklicherweise deckt sich dies perfekt mit den Kernkompetenzen von Coherent. Wir arbeiten eng mit den führenden Herstellern von Wafer-Fabrikationsanlagen zusammen, um sicherzustellen, dass unsere Produkte die Anfor카지노사이트 추천ungen 카지노사이트 추천 Halbleiterfertigung nicht nur erfüllen, son카지노사이트 추천n vorwegnehmen. Auf diese Weise unterstützt Coherent die Hersteller bei 카지노사이트 추천 Bewältigung 카지노사이트 추천 heutigen und zukünftigen Herausfor카지노사이트 추천ungen bei 카지노사이트 추천 Inspektion.

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