Bessere Interferenzlithographie mit CW-Festkörper슬롯사이트 꽁머니n

DIE HERAUSFORDERUNG

Anton Savchenko ist Nachwuchsforscher amInstitut für Technische Optik (ITO)der Universität Stuttgart. Er und seine Kollegen stellen Mikro- und Nanostrukturen mithilfe der 슬롯사이트 꽁머니-Interferenzlithographie (LIL) her.

Periodische Mikro- und Nanostrukturen finden sich häufig in der Natur und werden vielfach für technische Zecke eingesetzt. Forscher haben Nanostrukturen erzeugt, die denen auf der Augenoberfläche von Motten ähneln und unerwünschte optische Reflektionen unterdrücken können. Ein weiteres Beispiel einer periodischen Nanostruktur sind Diffraktionsgitter, die in vielen verschiedenen Anwendungen eingesetzt werden, von der Spektroskopie bis zur Modifikation von 슬롯사이트 꽁머니strahlen. Diese Strukturen präzise und reproduzierbar zu erzeugen, ist eine Herausforderung. Es gibt nur wenige Methoden, mit denen sich periodische Muster im Sub-Mikrometerbereich zuverlässig herstellen lassen – und eine davon ist LIL.

LIL erzeugt periodische Interferenzmuster in einem lichtempfindlichen Material. Der grundlegende Aufbau basiert auf Lloyds Spiegel und hat sich seit den Studien von Humphrey Lloyd zum Wesen des Lichts im Jahre 1884 nicht wesentlich verändert. Der LIL-Aufbau 슬롯사이트 꽁머니 Lloyds Spiegel (Abb. 1) funktioniert folgendermaßen: Licht aus der Lichtquelle durchläuft einen Raumfilter und breitet sich aus. Ein Spiegel und eine Probe werden senkrecht zueinander auf gegenüberliegenden Seiten des Aufbaus angebracht. Das Licht auf der Probe kreuzt sich 슬롯사이트 꽁머니 dem vom Spiegel reflektierten Licht und erzeugt ein Interferenzmuster. Die Periode des Interferenzmusters ist direkt proportional zur Wellenlänge der Lichtquelle.

Die Lichtquelle für LIL ist ein zentraler Bestandteil 슬롯사이트 꽁머니 muss mehrere Anforderungen erfüllen: kurze Wellenlänge, eine lange Kohärenzlänge zur Erzeugung von Interferenzstreifen 슬롯사이트 꽁머니 eine relativ hohe Leistung, um die Expositionszeit zu verringern. Viele Jahre lang waren Ar⁺- 슬롯사이트 꽁머니 Kr⁺-Gas슬롯사이트 꽁머니 die Antwort.

Leider sind diese Gas슬롯사이트 꽁머니 nicht effizient, produzieren extrem viel Wärme, benötigen eine Wasserkühlung und häufige Wartung und sind groß und unhandlich. Anton Savchenko und seine Kollegen benötigten für LIL im Labor eine bessere Lösung.

DIE LÖSUNG

M.Sc. Savchenko 슬롯사이트 꽁머니 seine Kollegen am ITO verfügen über verschiedene Methoden, um Diffraktionsmuster zu erzeugen, benötigten aber einen größeren LIL-Aufbau.

Als sie ihr Labor 슬롯사이트 꽁머니 einem neuen LIL-System ausstatteten, suchten sie nach einer Lichtquelle, die ihre Anforderungen an Kohärenzlänge, Strahlqualität und kurze Emissionswellenlänge erfüllen konnte, aber ohne die Größe, Komplexität und Wärmeentwicklung von Ar⁺- 슬롯사이트 꽁머니 Kr⁺-Gas슬롯사이트 꽁머니n. CW-Festkörper슬롯사이트 꽁머니 präsentierten sich als vielversprechende Lösung und das Team testete einenCoherent OBIS 360 XT-슬롯사이트 꽁머니.Das kompakte Plug-and-Play-Gerät arbeitet wartungsfrei und benötigt lediglich eine Wärmesenke, ohne dass zusätzliche Kühlgeräte erforderlich sind. Die hohe Strahlqualität des 슬롯사이트 꽁머니s mit einem M²nahe 1, seine enge spektrale Bandbreite und die langanhaltende Leistungsstabilität gewährleisten Präzision und Reproduzierbarkeit bei der LIL. Der 슬롯사이트 꽁머니 kann Perioden bis zu 250 nm mit einer Emissionswellenlänge von 360 nm erreichen.

DAS ERGEBNIS

Der interne Aufbau für die 슬롯사이트 꽁머니-Interferenzlithographie, ausgestattet mit einem OBIS 360 XT-슬롯사이트 꽁머니, hat die Fähigkeiten des ITO zur Herstellung verschiedener periodischer Nanostrukturen verbessert. Das Team kann jetzt Diffraktionsgitter im Sub-Mikrometerbereich auf einer Fläche von bis zu 180 mm Durchmesser herstellen. Abbildung 2 zeigt Beispiele für erzeugte Diffraktionsgitter. Eine weitere Anwendung, die das Team mit diesem Aufbau angehen will, ist die Kontrolle von 슬롯사이트 꽁머니strahl-Polarisationszuständen mithilfe von Gitter-Wellenleiterstrukturen unter Verwendung von Sub-Wellenlänge-Diffraktionsgittern.

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