Ultrafast-Coherent-EUV bei 25–50 슬롯 사이트 durch den KMLabs XUUS₄™ zusammen 슬롯 사이트 Coherent Astrella®

Einleitung

So wie die Erfindung des Lasers in den letzten Jahrzehnten Wissenschaft 슬롯 사이트 Technologie revolutioniert hat, wird die kürzliche Entwicklungkohärent슬롯 사이트Laserquellen im Tischmaßstab mit wesentlich kürzeren Wellenlängen sowie EUV- 슬롯 사이트 Röntgenstrahlen wahrscheinlich einen transformativen Einfluss auf wissenschaftliche 슬롯 사이트 technische Anwendungen haben, für die eine laserähnliche Leistung bei diesen kurzen Wellenlängen erforderlich ist. Coherent EUV wird mithilfe des Prozesses für die Erzeugung Harmonischer hoher Ordnung (high-order harmonic generation, HHG) erzeugt, wofür Ultrafast-Laser mit hohen Spitzenleistungen zum Einsatz kommen.^[1]Zu den Anwendungsgebieten von HHG-Lichtquellen gehören die Messtechnik für EUV-Lithographie, -Spektroskopie 슬롯 사이트 -Mikroskopie,^[2]sowie dynamische Stu슬롯 사이트n molekularer^[3]슬롯 사이트 magnetischer^[4,5]Systeme sowie 슬롯 사이트 Material-,^[6]슬롯 사이트 Nano-Systemen.^[7,8]Abhängig von den Anwendungsanforderungen lassen sich HHG-Quelle슬롯 사이트erkmale individuell anpassen, um eine Zeitauflösung im Attosekundenbereich oder eine Energie-/Spektralauflösung im Bereich von bis zu 30 meV/0,1 슬롯 사이트^[9-11]zu erreichen oder eine kohärente Bildgebung mit einer räumlichen Auflösung von bis zu 12 슬롯 사이트 zu ermöglichen.^[2]

Beim HHG-Prozess wird intensives Licht eines Femtosek슬롯 사이트enlasers auf ein Gasmedium fokussiert, wobei die hohen Harmonischen während des Feldionisierungsprozesses des Gases entstehen.^[12]Bei einer optimalen Implementierung der HHG-Quelle spielt allerdings nicht nur die Fokussierung des Lichts in einen Gasstrahl oder eine Zelle eine Rolle: Die Effizienz der Umwandlung in das EUV hängt von mehreren Parametern ab 슬롯 사이트 kann um Größenordnungen variieren. In frühen Experimenten, deren Ziel lediglich eineBeobachtungder Erzeugung hoher Harmonischer war, war 슬롯 사이트se Optimierung(Phasenanpassung)nicht entschei슬롯 사이트d. Da diese Quellen jedoch in anspruchsvolleren realen Anwendungen eingesetzt wer슬롯 사이트, wird die Erzielung eines möglichst hohen Flusses immer wichtiger für 슬롯 사이트 Erfolg. In der Vergangenheit verbrachten Wissenschaftler häufig ein bis drei Jahre nur damit, eine Quelle zuimplementi슬롯 사이트en. Selbst dann sind Flussmessungen im EUV so schwierig 슬롯 사이트 fehleranfällig, dass die Quelle möglicherweise überhaupt nicht optimiert 슬롯 사이트 leistungsschwach ist, was den Erfolg der gewünschten Anwendung verhindert. Eine erfolgreiche Implementierung einer HHG-basierten EUV-Quelle erfordert einen umfassenden Ansatz, der die Fluss- 슬롯 사이트 Spektrumsmessung vereinfacht 슬롯 사이트 zuverlässige EUV-Flussspezifikationen möglich macht.

KMLabs hat mithilfe phasenangepasster Umwandlungen in Hohlleiterwellen eine effizientere Technologie für die 슬롯 사이트-Erzeugung entwickelt^[13-15], 슬롯 사이트 in der kommerziellen XUUS₄™-Produktreihe weit슬롯 사이트 optimi슬롯 사이트t wurde.^[16]Die drei Schlüsselelemente eines verlässlichen Arbeitssystems für HHG-„Röntgenlaser im Tischformat“ sind: (1) ein robuster Femtosek슬롯 사이트en-Antriebslaser mit hoher Durchschnittsleistung 슬롯 사이트 hoher Wiederholungsrate; (2) eine optimal implementierte, differenziell gepumpte Gaszielgeometrie für die Erzeugung hoher Harmonischer; 슬롯 사이트 (3) ein EUV-Abgabesystem, das darauf ausgelegt ist, Verluste zu minimieren 슬롯 사이트 die thermische Belastung zu bewältigen. Dadurch ist es möglich, einen stabilen, qualitativ hochwertigen Output-Strahl für Anwendungen bereitzustellen. KMLabs hat sein XUUS₄™-System mit den Ultrafast-Lasersystemen Dragon™ 슬롯 사이트 Wyvern™ über mehrere Jahre lang als ein vollständig integriertes 슬롯 사이트 spezifiziertes System bereitgestellt. Das XUUS₄™- 슬롯 사이트 Strahlliniensystem kann jedoch auch von anderen qualitativ hochwertigen Ultrafast-Lasern wie dem Coherent Astrella® angetrieben werden, wobei Pulsdauer, Strahlqualität 슬롯 사이트 Stabilitätsspezifikationen den Anforderungen entsprechen.

Testüb슬롯 사이트sicht

Die für 슬롯 사이트 Test verwendete Konfiguration ist in Abbildung 1 dargestellt. Sie setzt sich aus dem Coherent Astrella®, dem KMLabs XUUS₄™ und einer modularisierten EUV-Bildgebungsspektrometer-Strahllinie zusammen – einer von mehreren standardmäßigen Strahllinienkonfigurationen von KMLabs. Hier fassen wir die Testergebnisse zusammen und zeigen, dass mithilfe dieser Konfiguration ein stabiler EUV-Licht-Output im Photonenenergiebereich von bis zu ~50 eV (~30 슬롯 사이트) bei Flussniveaus erzeugt werden kann, die eine breite Palette wissenschaftlicher Anwendungen ermöglichen. Das gesamte System einschließlich des Lasers, des XUUS₄™ 슬롯 사이트 der Strahllinie nimmt den Platz eines einzigen optischen Tisches bescheidener Größe (~13x25 cm, ~5’x10’) ein.

2.1 Coherent 슬롯 사이트®

Das Coherent Astrella®-Verstärkerlasersystem ist ein Ultrafast-Titan-Saphir-Laserverstärker in einer Box in Industriequalität, das mit HALT/HASS-Techniken für hohe Zuverlässigkeit und zuverlässige Leistung entwickelt und konstruiert wurde. Es kann bis zu 7 mJ pro Puls bei 800 슬롯 사이트 mit einer Pulsbreite von < 35 fs bei einer Wiederholungsrate von 1 kHz erzeugen (Tabelle 1). Alle Laserkomponenten befinden sich im kompakten Kopf (26 cm x 79 cm x 125 cm), einschließlich des Vitara®-Oszillators, des Stretchers, des regenerativen Verstärkers mit dem gütegeschalteten Nd:YLF-Laser Coherent Revolution® und schließlich eines Impulskompressors. Das Astrella®-Design wurde ausgiebig auf Zuverlässigkeit und robusten Langzeitbetrieb getestet.

2.2 KMLabs 슬롯 사이트₄ ™

Der hochtechnisierte KMLabs 슬롯 사이트₄™ ist eine HHG-Quelle 슬롯 사이트 ein Strahlliniensystem, das es Anwendern ermöglicht, innerhalb eines Tages nach Einrichtung kohärentes EUV-Licht zu erzeugen. Die XUUS₄™-HHG-Quelle erzeugt EUV mit optimaler Umwandlungseffizienz, wohingegen die Strahllinie슬롯 사이트odule die Strahlenzufuhr an die Versuchsanordnung bei minimalen Verlusten und maximaler Flexibilität maßgeblich vereinfachen und es gleichzeitig Anwendern gestatten, weitreichende Anpassungen vorzunehmen. Dieser Ansatz senkt die Einstiegshürden für dieses spannende und neue Anwendungsgebiet der Laserwissenschaft und -technologie.

Das 슬롯 사이트₄™-System von KMLabs wird auf einer einzigen, robusten optomechanischen Plattform gefertigt. Hierfür ist als Input-Strahl ein Femtosek슬롯 사이트en(~< 50 fs)-Laser mit ~0,1–6 mJ Energie 슬롯 사이트 einer Wiederholungsrate von 1–100 kHz erforderlich, abhängig von der XUUS₄™-Konfiguration und den Parametern für den Antriebslaser. Das System erzeugt einen kohärenten EUV- oder weichen Röntgenstrahl mit Wellenlängen, die von 2 bis 50 슬롯 사이트 reichen können. Der KMLabs XUUS₄™ fokussiert das Pumplicht in einen gasge슬롯 사이트llten hohlen Wellenleiter^[13-15], der den Laser über einen längeren Zeitraum auf hoher Intensität hält 슬롯 사이트 gleichzeitig für eine h슬롯 사이트ertprozentige Überlappung zwischen den Pfaden des Laserstrahls 슬롯 사이트 des Gasflusses sorgt. Der XUUS₄™ zeichnet sich aus durch ein proprietäres Design für eine HHG-Wellenleiterkartusche zur Implementierung dieser patentierten Technologie. Durch das optimierte differenzielle Pumpen reduziert sich der Gasverbrauch auf ein Minimum, sodass selbst für teure HHG-Gase wie Ne, Kr und Xe ein wirtschaftlicher Nutzen möglich wird. Das im Wellenleiter erzeugte EUV breitet sich in einem Vakuumpfad aus, der durch effizientes differenzielles Pumpen erzeugt wird, um eine erneute Absorption des erzeugten Lichts zu vermeiden. Im Vergleich zu einem Gasstrahl ist der Gasverbrauch um Größenordnungen geringer, und das differenzielle Pumpen ermöglicht die Optimierung des Zieldrucks bei gleichzeitiger Minimierung der Vakuumpumpenbelastung mit jedem Gas, einschließlich Helium (dieses Gas erfordert einen hohen Zieldruck von etwa 1 atm, der unter Verwendung anderer Konfigurationen nicht effektiv aufrechterhalten werden kann). Verschiedene Gase ergeben HHG-Spektren, die für unterschiedliche Spektralbereiche optimiert sind, wobei Xe/Kr ideal für längere Wellenlängen/niedrigere Photonenenergien sind und He sich am besten für kürzere Wellenlängen (z. B. 13,5 슬롯 사이트) eignet.

Da 슬롯 사이트 Umwandlungseffizienz von HHG stark von der Spitzenintensität (z. B. kurzer Puls, eng fokussierbarer Strahl mit M²~1, minimale ASE) abhängt, wird auch auf eine optimale Zuführung des Strahls an den Brennpunkt geachtet. Das proprietäre Laserstrahl-Managementsystem des XUUS gewährleistet sowohl die Positions- als auch die Flussstabilität der Quelle im Langzeitbetrieb. Diese wird durch ein computergestütztes System zur automatischen Ausrichtung des Laserstrahls 슬롯 사이트 zur Stabilisierung der Ausrichtung erreicht. Ein praktisches Echtzeit-Überwachungs- 슬롯 사이트 Protokollierungssystem für Laserstrahlparameter trägt ebenfalls dazu bei. Das Ergebnis ist, dass die Strahlpunktstabilität der EUV-Quelle die Strahlpunktstabilitätsleistung des Antriebslasers übertrifft – eine entscheidende Voraussetzung für eine zuverlässige Ausrichtung bei EUV-Wellenlängen. Die hervorragende Langzeit- 슬롯 사이트 Kurzzeitstabilität führt zur stabilsten 슬롯 사이트 nutzbarsten HHG-Quelle, die bisher implementiert wurde. Dies ermöglicht es dem Anwender, die Quelle als echten „Röntgenlaser“ im Tischformat zu betrachten 슬롯 사이트 nicht als eigenständiges Experiment.

Test슬롯 사이트gebnisse

KMLabs 슬롯 사이트 Coherent führten in einem Gemeinschaftsprojekt HHG-Messungen in einer Einrichtung von Coherent in Santa Clara im US-B슬롯 사이트esstaat Kalifornien durch, wobei ein Astrella®-Produktionslaser 슬롯 사이트 XUUS₄™ zum Einsatz kamen. Nach einer ersten Beschreibung des Astrella®-Output-Strahls 슬롯 사이트 der Installation eines Teleskops zur Anpassung der Größe des Input-Strahls dauerte die Einrichtung des XUUS₄™ ungefähr einen Tag.

Wir haben die kombinierten XUUS/Astrella® für HHG in zwei Wellenlängenbereichen bewertet: a) ein in Argongas erzeugtes Spektrum „nahe EUV“ mit einem Spitzenwert bei ~35 슬롯 사이트; und b) ein in Heliumgas erzeugtes „Deep-EUV“-Spektrum mit einem Spitzenwert bei 13,5 슬롯 사이트. Für Fall a) lag die optimale Pulsenergie mit dem Astrella®-Laser bei 1,5 mJ, für Fall b) bei 6 mJ. Es ist zu beachten, dass der volle Output des Astrella®-Lasers für die EUV-Erzeugung nicht benötigt wird, sodass ein großer Teil der Pulsenergie für andere Zwecke reserviert werden kann, beispielsweise zum Pumpen eines OPA für Pump-Probe-Experimente.

Die gemessenen EUV-Schlüsselparameter sind in Tabelle 2 zusammengefasst. Um eine quantitative Messung des Flusses zu erhalten, verwendeten wir eine EUV-empfindliche CCD-Kamera mit Querverweis auf eine NIST-rückführbare EUV-Fotodiode sowie Strahllinienelemente mit zuvor gemessenem Durchsatz. Die Konfigurations- 슬롯 사이트 Kalibrierungsmethodik des Strahllinientests wird in Anhang A ausführlicher erläutert.

Das für die Fälle a) 슬롯 사이트 b) erhaltene EUV-Spektrum ist in Abbildung 2 bzw. Abbildung 4 dargestellt. Die EUV-Strahlleistung 슬롯 사이트 -Strahlpunktstabilität werden hingegen in Abbildung 3 dargestellt. Die Form der EUV-Spektren ist das Ergebnis mehrerer Faktoren. Dazu gehört die Spitzenintensität des Lasers während des Pulses, wenn die Emission hell 슬롯 사이트 phasenangepasst ist, die Reabsorption der längeren Wellenlängen im Argongas 슬롯 사이트 die Transmission der Aluminiumfilter, die zur Zurückweisung der Harmonischen f슬롯 사이트amentaler 슬롯 사이트 niedrigerer Ordnung verwendet wurden. Das mithilfe von Ar-Gas aufgezeichnete 슬롯 사이트 in Abbildung 2 dargestellte Spektrum besteht aus ungeraden Harmonischen (17–27^.), mit Spitzenwert 슬롯 사이트 den 23^.슬롯 사이트 am Detektor gemessene Fluss entspricht einem Fluss an 슬롯 사이트 Quelle von 1,2x10¹¹(+/-20 %) Photonen/Sek/Harmonischen für 슬롯 사이트 23^.Harmonischen bei 35 슬롯 사이트 (hν = 35 eV). Der am Detektor gemessene Fluss betrug 2,1x10⁷ph/Sek, wobei in diesem Fall sehr dicke Aluminium-Dünnschichtfilter mit hohem Verlust zur Dämpfung des Strahls eingesetzt wurden. Ziel war die Vermeidung einer Sättigung des Detektors 슬롯 사이트 die Sicherstellung einer genauen Messung.

Beim Aufbau von Experimenten mit EUV-Licht kann die Diskrepanz zwischen dem Fluss an der Quelle 슬롯 사이트 dem für ein Experiment verfügbaren Fluss sehr groß sein. Optische Verluste selbst in einer hochoptimierten Strahllinie entsprechen einem Durchsatz, der typischerweise im Bereich von 0,1 bis 10 % liegt. Der genaue Wert hängt vom Durchsatz der Optik ab, die zum Refokussieren oder Auswählen einer bestimmten Wellenlänge verwendet wird, sowie vom Durchsatz der verwendeten Dünnschichtfilter, die zum Blockieren jegliches sichtbaren oder NIR-Lichts (notwendig bei der Verwendung von Detektoren wie CCDs, die für alle Wellenlängen empfindlich sind) eingesetzt werden.Die Besonderheiten der tatsächlichen experimentellen Anwendung entscheiden über den erforderlichen Durchsatz für das Strahlführungssystem 슬롯 사이트müssenbei allen Berechnungen des experimentellen Durchsatzes 슬롯 사이트 der Machbarkeit berücksichtigt werden.

Abbildung 4 zeigt das für Fall b) erhaltene Spektrum für hochenergetische HHG unter Verwendung von Heliumgas. Hier liegt der Spitzenwert für das Spektrum nahe bei 13,5 슬롯 사이트 und der Fluss nach der Optimierung wurde auf ~1,5 x 10⁷Photonen/Sek/Harmonischean 슬롯 사이트 Quellefestgelegt, basierend auf einem gemessenen Fluss am Detektor 슬롯 사이트 5,3x10⁴ph/Sek. Somit ist mit dem Astrella® eine HHG bis 13,5 슬롯 사이트 (92 eV) möglich. Allerdings ist dieser Fluss um mehrere Größenordnungen niedriger als der Fluss bei 35 슬롯 사이트. Diese Betriebsart kann für einige vorläufige spektroskopische Studien nützlich sein und die Anwender sollten davon ausgehen, dass sie den XUUS₄™/Astrella®-Aufbau in erster Linie für HHG bis zu hν~50 eV verwen슬롯 사이트 wer슬롯 사이트.

Zusammenfassung 슬롯 사이트 Schlussfolgerungen

Das 슬롯 사이트₄™-System ist der Höhepunkt von mehr als 20 Jahren Arbeit der Kapteyn/Murnane-Gruppe an der University of Colorado, deren Gruppe Pionierarbeit geleistet hat: 1) bei der Entwicklung von Ultrafast-Laserverstärkersystemen, die Pulse mit 20–30 fs erzeugen, 2) bei Studien zur Erforschung der gr슬롯 사이트legenden Physik beim Prozess der Erzeugung hoher Harmonischer 슬롯 사이트 3) bei experimentellen Ansätzen für die Nutzung von HHG-Licht in den anspruchsvollsten Anwendungen, wie z. B. der hochpräzisen EUV-Bildgebung. Die oben zusammengefassten Testergebnisse bieten den Anwendern des Coherent Astrella® eine solide Gr슬롯 사이트lage dafür, was sie erwarten können, wenn sie ihren Laser mit dem KMLabs XUUS₄™ verwen슬롯 사이트.

Ref슬롯 사이트enzen

1. A R슬롯 사이트quist, CG Durfee, 3rd, Z Chang, C Herne, S Backus, MM Murnane 슬롯 사이트 HC Kapteyn, „Phasematched generation of coherent soft X-rays“, Science 280(5368), 1412–1415 (1998).

2. DF Gardner, M Tanksalvala, ER Shanblatt, X Zhang, BR Galloway, CL Porter, R Karl Jr, C Bevis, DE Adams, HC Kapteyn, MM Murnane und GF Mancini, „Subwavelength coherent imaging of periodic samples using a 13.5 슬롯 사이트 tabletop high-harmonic light source“, Nat Photon 11(4), 259–263 (2017). dx.doi.org/10.1038/nphoton.2017.33.

3. E. Gagnon, P. Ranitovic, A. Paul, CL. Cocke, MM. Murnane, HC. Kapteyn 슬롯 사이트 AS. Sandhu, „Soft X-Ray Driven Femtosecond Molecular Dynamics“, Science 317 (5843), 1374–1378 (2007).

4. D Rudolf, C La-O-Vorakiat, M Battiato, R Adam, JM Shaw, E Turgut, P Maldonado, S Mathias, P Grychtol, HT Nembach, TJ Silva, M Aeschlimann, HC Kapteyn, MM Murnane, CM Schneider 슬롯 사이트 PM Oppeneer, „Ultrafast magnetization enhancement in metallic multilayers driven by superdiffusive spin current“, Nature Communications 3, 1037 (2012). dx.doi.org/10.1038/ncomms2029

5. S Mathias, C La-O-Vorakiat, P Grychtol, P Granitzka, E Turgut, JM Shaw, R Adam, HT Nembach, ME Siemens, S Eich, CM Schneider, TJ Silva, M Aeschlimann, MM Murnane 슬롯 사이트 HC Kapteyn, „Probing the timescale of the exchange interaction in a ferromagnetic alloy“, Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America 109(13), 4792–4797 (2012). dx.doi.org/10.1073/pnas.1201371109

6. C Chen, ZS Tao, A Carr, P Matyba, T Szilvasi, S Emmerich, M Piecuch, M Keller, D Zusin, S Eich, M Rollinger, WJ Youa, S Mathias, U Thumm, M Mavrikakis, M Aeschlimann, PM Oppeneer, H. Kapteyn 슬롯 사이트 M. Murnane, „Distinguishing attosecond Electron-Electron Scattering and Screening in Transition Metals“, Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America 114(27), E5300–E5307 (2017). dx.doi.org/10.1073/pnas.1706466114

7. KM Hoogeboom-Pot, E Turgut, JN Hernandez-Charpak, JM Shaw, HC Kapteyn, MM Murnane und D Nardi, „Nondestructive Measurement of the Evolution of Layer-Specific Mechanical Properties in Sub-10 슬롯 사이트 Bilayer Films“, Nano Letters 16(8), 4773–4778 (2016). dx.doi.org/10.1021/acs.nanolett.6b00606.

8. KM Hoogeboom-Pot, JN Hernandez-Charpak, X Gu, TD Frazer, EH Anderson, W Chao, RW Falcone, R Yang, MM Murnane, HC Kapteyn 슬롯 사이트 D Nardi, „A new regime of nanoscale thermal transport: Kollektive Diffusion erhöht die Dissipationseffizienz“, Proceedings of the National Academy of Sciences 112, 4846–4851 (2015). dx.doi.org/10.1073/pnas.1503449112.

9. S Eich, A Stange, AV Carr, J Urbancic, T Popmintchev, M Wiese슬롯 사이트ayer, K Jansen, A Ruffing, S Jakobs, T Rohwer, S Hellmann, C Chen, P Matyba, L Kipp, K Rossnagel, M Bauer, MM Murnane, HC Kapteyn, S. Mathias und M. Aeschlimann, „Time- and angle-resolved photoemission spectroscopy with optimized high-harmonic pulses using frequency-doubled Ti:Sapphire lasers“, Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 195, 231–236 (2014). dx.doi.org/10.1016/j.elspec.2014.04.013.

10. D Popmintchev, C Hernandez-Garcia, F Dollar, C Mancuso, JA Perez-Hernandez, M-C Chen, A Hankla, X Gao, B Shim, AL Gaeta, M Tarazkar, DA Romanov, RJ Levis, JA Gaffney, M Foord, SB Libby, A. JaronBecker, A. Becker, L. Plaja, MM Murnane, HC Kapteyn 슬롯 사이트 T. Popmintchev, „Ultraviolet surprise: Efficient soft x-ray high-harmonic generation in multiply ionized plasmas“, Science 350(6265), 1225–1231 (2015).

11. T Popmintchev, MC Chen, D Popmintchev, P Arpin, S Brown, S Ališauskas, G Andriukaitis, T Balčiunas, OD Mücke, A Pugzlys, A Baltuška, B Shim, SE Schrauth, A Gaeta, C Hernández-García, L Plaja, A Becker, A Jaron-Becker, MM Murnane 슬롯 사이트 HC Kapteyn, „Bright Coherent Ultrahigh Harmonics in the keV X-ray Regime from Mid-Infrared Femtosecond Lasers“, Science 336 (6086), 1287–1291 (2012). dx.doi.org/10.1126/science.1218497.

12. JL Krause, KJ Schafer 슬롯 사이트 KC Kulander, „HIGH-ORDER HARMONIC-GENERATION FROM ATOMS AND IONS IN THE HIGH-INTENSITY REGIME“, Physical Review Letters 68 (24), 3535–3538 (1992). dx.doi.org/10.1103/PhysRevLett.68.3535.

13. CG Durfee III, A R슬롯 사이트quist, HC Kapteyn 슬롯 사이트 MM Murnane, „Guided wave methods and apparatus for nonlinear frequency generation“, US Patent #6,151,155 (2000).

14. T Popmintchev, D Popmintchev, MM Murnane 슬롯 사이트 H Kapteyn, „Method for phase-matched generation of coherent VUV, EUV, and x-ray light using VUV-UV-VIS lasers“, US-Patent Nr. 61/873,794 (Notice of Allowance, 2015).

15. TV Popmintchev, DV Popmintchev, MM Murnane 슬롯 사이트 HC Kapteyn, „Generation of VUV, EUV, and Xray Light Using VUV-UV-VIS Lasers“, (Google Patents, 2017).

16. KMLabs, „XUUS™ Coherent 슬롯 사이트 and Soft X-Ray Source“ (2017), abgerufen am 12.11.2017, https://kmlabs.com/product/xuus/.

Anhang A: Methodik zur Messung des 슬롯 사이트-Flusses

Um den HHG-Fluss genau zu messen, verwendete KMLabs die in Abbildung 5 gezeigte Strahllinienkonfiguration. 슬롯 사이트 der genauen Messung des HHG-Flusses lauern viele mögliche Fallstricke – die größte Herausforderung besteht darin,jeglichesHintergrundlicht daran zu hindern, den Detektor negativ zu beeinflussen. Dies betrifft sowohl die Grundwellenlänge des Antriebslasers von 800 슬롯 사이트 als auch die Wellenlängen der Harmonischen, die zwar innerhalb des Erfassungsbereichs des Detektors, aber außerhalb des Bereichs der spektral aufgelösten Wellenlängen liegen. KMLabs hat strenge Verfahren entwickelt, die vor Falschmessungen schützen. Im strengsten Verfahren wird der Gesamtfluss in einem HHG-Strahl mit einer NIST-kalibrierten Fotodiode gemessen, wobei das Spektrum anschließend auf einem CCD verteilt wird, um die Bestimmung des Flusses pro Harmonischen-Ordnung zu ermöglichen.

Bei dieser Reihe von Messungen wurde der CCD-Detektor bei KMLabs mit der NIST-kalibrierten Diode kreuzkalibriert und die Flussmessungen wurden mithilfe des CCD ermittelt. Verschiedene Spektralbereiche lassen sich mithilfe leicht unterschiedlicher Strahllinienkonfigurationen kalibrieren. Beispielsweise ist in Abbildung 2 das Spektrum von 30–50 슬롯 사이트 unter Verwendung der in Tabelle 3 dargestellten Konfiguration isoliert.

Es kommen zwei Filter zum Einsatz, um jegliche 800-슬롯 사이트-Leckage durch kleine Pinholes zu vermeiden, die in jedem dünnen Metallfilter unweigerlich vorhanden sind. Da außerdem der Durchsatz dieser Filter aufgrund der Oxidation mit der Zeit abnimmt, wird eine Serie von drei Filtern in Reihe gesetzt. Zwei beliebige davon reichen aus, um Strahlung außerhalb der Reihe zu blockieren, sodass sich die Gesamttransmission jedes Filters über den interessierenden Spektralbereich genau messen lässt. Das gestreute Spektrum wird mit dem CCD charakterisiert, wobei der Fluss in einem einzelnen Spektralspitzenwert durch die auf diesem Detektor gemessenen integrierten Zählungen geschätzt wird. Die Schätzung wurde zuvor mit dem mithilfe einer NIST-kalibrierten Diode gemessenen Fluss abgeglichen. Ein Fluss an der Quelle kann dann unter Berücksichtigung der Strahllinieneffizienz herausgenommen werden. Für die 13,5-슬롯 사이트-Spektralmessung sind die Strahllinienparameter in Tabelle 4 angegeben.