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高パルスエネルギー、短UV波長、高出力の独自の組み合わせにマッチした高品質바카라 규칙ティクス。
エキシマ바카라 규칙の用途の多くに、ビームの投射、均一化、減衰のための伝送オプティクスが必要です。 Coherentは卓越した経験と技術知識によって開発した光学機械ツールを使って、この課題に対応します。
必須
標準およびカスタムビーム伝送オプティクスと光学機械モジュールで、エキシマ바카라 규칙をよりシンプルに利用できるようにします。
製品仕様
製品タイプ
主な機能
減衰器
可変減衰器には、ビームWalk-offをなくすための補正用のプ바카라 규칙トが含まれています。
ホモジナイザー
5 x 5 mmまたは 10 x 10 mmの均質なフィールドを生成します(変動が±5%以下)
投影レンズ
5Xまたは可変4~10Xの縮小倍率(必要に応じて高い値を使用)
VarioLasエキシマUV바카라 규칙は、強力なCOMPexエキシマ바카라 규칙をベースに、ラインビームまたはスクエアビームフィールド形状による高品質UV微細加工を実現します。
COMPex UV바카라 규칙は、要求の厳しいアプリケーション向けに、数百mJのパルスエネルギーを高パルス間安定性および優れたビーム均一性とともに提供します。
IndyStar바카라 규칙は、インクジェットノズルの穴あけ、計測、光学試験などの高速パルスを必要とするアプリケーション用に設計された、堅牢で高デューティサイクルのUVエキシマ바카라 규칙です。
LineBeamエキシマUV바카라 규칙では、高い生産力で大きな下地パネルの低温ポリシリコン(LTPS)バックプレーンを大量製造できます。
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