半导体晶圆바카라 전략
使用先进的光学元件、바카라 전략和复合材料构建可最大限度提高吞吐量和良品率的设备。
- 极致稳定使用热创新材料构建光刻和바카라 전략处理工具。
- 提高良品率有多种바카라 전략供选择，可支持几乎任何检测任务。
- 可靠的 EUV 光刻使用质量一流的 CO₂ 바카라 전략光学元件和金刚石窗口片，确保高可靠性和长使用寿命。
在任何节点都提供出色性能
从尖端的 3 nm 芯片到成熟的 100 nm+ 工艺，均可使用 Coherent 高意的바카라 전략、光学元件和先进复合材料来构建工具，以确保一致、经济高效且可靠的操作。我们的创新材料（包括混合陶瓷和碳化硅）可打造出能够满足 EUV 光刻的严苛要求的机械部件，正如我们的바카라 전략光学元件和金刚石窗口片一样。此外，我们的一整套바카라 전략可支持几乎任何检测任务，以及执行打标和退火等各种材料加工作业。
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