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我们的导电 토토 도박 衬底结合了低电阻率、低缺陷密度、高均匀性、卓越的晶体质量和高导热性,使器件具有低功耗、高频特性和良好的热稳定性。
토토 도박 高意不断提高材料质量并增加衬底直径,使我们的客户能够提高设备性能并降低成本。
N 型碳化硅材料特性
物理特性
结构
六方单晶
直径
高达 200 mm
等级
初始、开发、机械
热特性
导热率
室温下 370 (W/mK)
热膨胀系数
4.5 x 10-6/K
比热 (25°C)
0.71 (J/g°C)
Coherent 토토 도박 衬底的其他关键特性(典型值)
参数
N 型
多型体
4H
掺杂剂
氮
电阻率
1019 Ohm-cm
方向
4° 离轴
粗糙度 (Ra)
<5Å
位错密度
~3,000 cm-2
微管密度
< 10cm-2
利用 Coherent 高意直径高达 200 毫米的高性能 토토 도박 外延片生产晶圆,缩短上市时间、降低成本并提高器件性能。
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