토토 계좌基板とエピタキシー

토토 계좌エピタキシー

直径200mmまでのCoherent製高性能토토 계좌エピタキシャルウェーハ上に構築することにより、市場投入までの時間を短縮し、コストを削減して、デバイス性能を向上させます。

Coherentは、バッファー付きまたはバッファーなしの厚膜エピレイヤー、低ドープ層、多層構造、pn接合、はめ込み/埋め込み構造、コンタクト層のオプションにより、総合的な토토 계좌材料ソリューションを提供します。研究開発から量産までサポートします。

토토 계좌エピタキシー機能のハイライト

最先端の토토 계좌エピタキシー技術

  • 効率的なバッファ層技術による記録的な低欠陥密度

  • 成長開始時の結晶欠陥の核形成を防止

  • BPDからTEDへの変換率 99.8% → 1 BPD/cm2

  • バイポーラ토토 계좌デバイス技術を実現

 

LPE PE106によるクラス最高の層均一性

  • 調整可能な横方向のガス流

  • シリコン前駆体としてTCSを使用した、40 µm/hの高い成長速度

  • 150 μm以上の厚膜成長

  • 1×1014/cm3の低ドーピング濃度

  • 15 kV超の토토 계좌デバイス技術を実現